二、三大子型號核心區(qū)分
單位功耗:65W/m,峰值照度≥25,000lx
定位:入門基礎(chǔ)款,低反光、簡易外觀檢測
散熱:自然風(fēng)冷,無風(fēng)機(jī),靜音低震動
適用:芯片引線框架、小型封裝外殼、簡易 PCB 基板、小硅片邊角復(fù)檢
單位功耗:130W/m,峰值照度≥200,000lx
定位:通用量產(chǎn)主力,動態(tài)范圍寬,兼容高低反光工件,支持高速頻閃
適用:晶圓劃片掃查、硅片研磨劃痕 / 崩邊、塑封氣泡異物、光學(xué)玻璃載板基礎(chǔ)缺陷掃描
單位功耗:267W/m,峰值照度≥450,000lx
定位:高亮度精密檢測,遠(yuǎn)距離、厚膜層、深溝槽成像,納秒級同步脈沖
適用:厚膜晶圓瑕疵、碳化硅晶圓、光刻掩模版針孔、高深寬比溝槽形貌檢測
偽平行光光學(xué)系統(tǒng)特制透鏡形成準(zhǔn)平行光路,遠(yuǎn)距離工作距離(WD50~200mm)照度衰減小,照射幅寬穩(wěn)定,抑制曲面、薄膜漫反射雜光,微小缺陷邊界清晰。
偽平行光光路特性
全域高均勻照度10%~* 全調(diào)光區(qū)間照度均勻度≤±5%,長幅無明暗光斑;支持 5 點(diǎn)線性校正,高低亮度成像一致性穩(wěn)定,降低誤檢漏檢。
照度均勻曲線
無風(fēng)機(jī)自然冷卻一體式鋁合金導(dǎo)熱殼體,無風(fēng)扇、無震動、無粉塵干擾,適配無塵半導(dǎo)體車間,長期運(yùn)行無光衰漂移。
多波長全場景覆蓋標(biāo)準(zhǔn)可選:白光、紅光 1 / 紅光 2、綠光、藍(lán)光、琥珀色;可定制 UV / 近紅外波段,適配色差、熒光、透視探傷需求。
靈活長度與出線定制發(fā)光長度 120~3960mm,120mm 步進(jìn)任意裁切;支持標(biāo)準(zhǔn)尾部出線、S 側(cè)面出線、B 底部出線三種結(jié)構(gòu),適配密閉吊頂、緊湊型腔體設(shè)備。
高速同步頻閃 + 多通訊控制*快微秒級開關(guān)響應(yīng),同步線陣相機(jī)取圖;RJ45 以太網(wǎng)、RS232、0-5V 模擬量、BNC 外觸發(fā),可存儲多套檢測方案一鍵切換。
長使用壽命LED 光通量 70% 維持壽命 50000 小時;控制線*長 50m,適配大型產(chǎn)線遠(yuǎn)距離安裝。
發(fā)光面寬度:26mm
整機(jī)外形:(發(fā)光長度 + 120) × W50 × H70 mm(不含接頭凸起)
有效發(fā)光長度:發(fā)光長≥360mm 時,有效長度 = 長 - 160mm
調(diào)光精度:8bit/10bit 線性調(diào)光
使用環(huán)境:5~50℃,無凝露潔凈車間
安裝方式:槽型滑螺母,臥式 / 吊裝均可自由調(diào)節(jié)
半導(dǎo)體行業(yè)硅片 / 碳化硅晶圓劃痕、崩邊、晶格缺陷、封裝塑封氣泡、引線框架臟點(diǎn)、載板異物檢測。
光學(xué)顯示TFT/OLED 玻璃基板、光學(xué)偏光片、離型膜針孔、褶皺、鍍膜不均、微米級臟點(diǎn)掃描。
PCB/FPC 電子阻焊色差、線路劃痕、油墨氣泡、助焊劑油污、表層雜質(zhì)在線檢測。
鋰電卷材正負(fù)極涂層厚薄不均、隔膜針孔、鋁塑膜夾層異物連續(xù)卷對卷掃查。
塑膠 / 精密五金注塑件熔接線、金屬箔劃傷、鍍層缺陷、透明件內(nèi)部氣泡外觀檢測。
SPX-TB-07/30/70:自然冷卻無風(fēng)機(jī),8/10bit 調(diào)光,經(jīng)濟(jì)型量產(chǎn)通用
SPX-TB80:強(qiáng)制風(fēng)冷,300ns 高速脈沖,12bit 高精度調(diào)光,高動態(tài)范圍,適配高速寬幅卷材高端產(chǎn)線
SPX-TB-07/30/70 憑借無風(fēng)機(jī)靜音散熱、偽平行均勻光路、三檔亮度分級、靈活出線定制四大核心特點(diǎn),覆蓋從簡易抽檢到高精度精密檢測全場景;結(jié)構(gòu)簡潔、運(yùn)維成本低,是半導(dǎo)體、光學(xué)膜、PCB、鋰電行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)經(jīng)濟(jì)型線掃視覺光源*。
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一、產(chǎn)品基礎(chǔ)概述
SPX-TB-70-B-0960-UV365 是日本 REVOX 萊寶克斯SPX-TB-70 高亮度自然冷卻型線陣相機(jī) 365nm UVA 紫外線性光源,發(fā)光長 960mm、B 底部垂直向下出線、UV365 短波紫外波段;無風(fēng)機(jī)被動散熱、無振動無塵適配,搭載抗 UV 準(zhǔn)直透鏡與偽平行光學(xué)系統(tǒng),為 TB 系列頂配底出線紫外型號,專門適配吊頂?shù)跹b、全封閉上置式中幅密閉 AOI 設(shè)備,依靠 365nm 短波紫外高激發(fā)效率檢出微量有機(jī)熒光雜質(zhì),面向遠(yuǎn)距離、高速、中幅基材油污、UV 膠殘留、脫模劑微量缺陷高端熒光檢測,廣泛用于高端面板、中幅 PCB、鋰電薄膜、8/12 寸晶圓潔凈產(chǎn)線。
型號編碼釋義
SPX-TB:自然冷卻無風(fēng)扇線掃光源系列
70:高亮度等級,單位功耗 267W/m,標(biāo)準(zhǔn)測試距離峰值紫外照度≥450000lx,亮度為 TB-30 兩倍以上
B:底部出線結(jié)構(gòu),線纜從光源兩端底部垂直向下引出,規(guī)避吊頂設(shè)備橫向、尾部走線干涉
0960:發(fā)光長 960mm
UV365:365nm 短波 UVA 紫外,激發(fā)油污、助焊劑、UV 膠、脫模劑熒光信號更強(qiáng),微量雜質(zhì)檢出能力突出