二、

專為渦輪分子泵配套前級(jí)粗抽、實(shí)驗(yàn)室腔體脫泡、光學(xué)蒸鍍、質(zhì)譜 / 電鏡分析設(shè)備、小型真空檢漏打造，替代傳統(tǒng)皮帶傳動(dòng)油泵，大幅縮小整機(jī)體積、降低振動(dòng)噪音，適配設(shè)備內(nèi)置集成。

三、工作原理

采用兩段式蓋德旋片壓縮結(jié)構(gòu)：偏心轉(zhuǎn)子搭載不銹鋼旋片，依靠離心力貼合泵殼內(nèi)壁形成密閉壓縮腔；電機(jī)與泵體同軸直連同步運(yùn)轉(zhuǎn)，氣體經(jīng)一級(jí)、二級(jí)逐級(jí)壓縮，真空油同步完成密封、潤(rùn)滑、冷卻，*終排出大氣。設(shè)備標(biāo)配可調(diào)氣鎮(zhèn)閥，可處理少量含水蒸氣工況，避免真空油乳化失效；整機(jī)取消皮帶、皮帶輪、張緊機(jī)構(gòu)，傳動(dòng)結(jié)構(gòu)極簡(jiǎn)，傳動(dòng)損耗更低。

四、核心產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

1. 同軸直驅(qū)結(jié)構(gòu)，故障率更低、機(jī)身小巧無(wú)皮帶磨損、打滑、斷裂隱患，動(dòng)平衡優(yōu)化振動(dòng)極??；同等抽速下整機(jī)體積縮小 30%，可直接嵌入機(jī)柜、桌面式研發(fā)設(shè)備狹小空間。

2. 兩段式壓縮，極限真空性能優(yōu)異無(wú)氣鎮(zhèn)極限真空可達(dá) 0.67Pa，抽氣效率高，可快速將腔體抽至渦輪分子泵啟動(dòng)壓力，縮短整機(jī)抽氣等待時(shí)長(zhǎng)，滿足 PVD、ALD、電子顯微鏡等高精密真空需求。

3. 低噪低振動(dòng)，潔凈車間適配整機(jī)降噪殼體優(yōu)化，運(yùn)行噪音≤52dB；直驅(qū)結(jié)構(gòu)規(guī)避皮帶傳動(dòng)放大震動(dòng)問(wèn)題，實(shí)驗(yàn)室、無(wú)塵車間、辦公研發(fā)設(shè)備使用無(wú)噪音干擾。

4. 全風(fēng)冷免水冷，現(xiàn)場(chǎng)安裝簡(jiǎn)單一體化自然風(fēng)冷散熱，無(wú)需配套冷卻水管路，單機(jī)獨(dú)立放置、設(shè)備內(nèi)置集成均可，適配無(wú)供水條件的實(shí)驗(yàn)室、小型產(chǎn)線場(chǎng)景。

5. 人性化易維護(hù)設(shè)計(jì)

• 大透明可視油位計(jì)，直觀觀察油量與油品渾濁度；

• 側(cè)面一體式放油球閥，換油無(wú)需拆解油箱，操作干凈便捷；

• 頂部可拆卸檢修艙蓋，旋片、排氣閥、油霧分離器可快速拆解清洗；

• 內(nèi)置高效油霧分離芯，排氣無(wú)油霧返流，減少車間油污污染。

1. 長(zhǎng)效連續(xù)運(yùn)行，配件耐疲勞旋片、排氣閥彈簧采用 SUS304 不銹鋼，抗疲勞不易損壞；泵殼、轉(zhuǎn)子精密精加工，支持 24 小時(shí)不間斷連續(xù)排氣，反復(fù)啟停循環(huán)工況穩(wěn)定可靠。

2. 標(biāo)準(zhǔn)化通用真空接口進(jìn)氣統(tǒng)一 KF25 (NW25) 真空法蘭，可直接對(duì)接大阪真空 TG 系列復(fù)合分子泵、真空腔體、真空閥門，搭配 HORIBA MFC、DIC 迪愛(ài)生高純流體模組組成完整干法真空工藝系統(tǒng)。

五、主流型號(hào)規(guī)格參數(shù)

表格

通用配套參數(shù)：

• 電源：?jiǎn)蜗?100V，可選 220V 寬電壓，50/60Hz

• 冷卻方式：自然風(fēng)冷

• 真空油：SA-160M

• 標(biāo)配組件：可調(diào)氣鎮(zhèn)閥、油霧分離器、放油球閥、可視化油位視窗

六、典型應(yīng)用場(chǎng)景

1. 高真空設(shè)備前級(jí)后備泵（核心用途）配套大阪真空 TG 復(fù)合渦輪分子泵，用于小型 PVD 光學(xué)蒸鍍、ALD 薄膜沉積、電子顯微鏡、質(zhì)譜分析儀、表面檢測(cè)設(shè)備，提供前級(jí)粗抽真空。

2. 理化實(shí)驗(yàn)室科研設(shè)備材料真空反應(yīng)爐、樣品真空脫泡、真空檢漏、吸附性能測(cè)試、小型真空鍍膜試驗(yàn)機(jī)、污染檢測(cè)儀器。

3. 半導(dǎo)體 & 光學(xué)電子制造光學(xué)鏡片 / 車載攝像頭鏡頭鍍膜、PCB 真空壓合、芯片封裝脫氣、小型光伏 PECVD、基板烘烤干燥。

4. 醫(yī)藥、鋰電、通用工業(yè)藥品真空凍干、鋰電池極片真空干燥、樹脂真空脫泡、真空浸漬、真空吸盤工裝、小型熱處理爐。

七、成套真空系統(tǒng)搭配方案

工藝腔體 → SATOVAC Lambda＜P＞直驅(qū)油封泵（粗抽 / 分子泵前級(jí)）→ 大阪真空 TG 復(fù)合渦輪分子泵 → 高真空工藝腔體整套干法系統(tǒng)配套：HORIBA SEC 系列 MFC 特氣流量控制 + DIC 迪愛(ài)生高純隔膜閥 / 脫氣模組，實(shí)現(xiàn)真空排氣 + 特氣供給一體化工藝配套。

八、產(chǎn)品結(jié)

SATOVAC 佐藤真空 Lambda＜P＞直驅(qū)式油封旋片泵是新一代緊湊型兩段高真空前級(jí)油泵，依托同軸直驅(qū)極簡(jiǎn)結(jié)構(gòu)、兩段式高極限真空、低噪低振動(dòng)、風(fēng)冷免水冷、便捷維護(hù)、長(zhǎng)效耐用六大核心優(yōu)勢(shì)，解決傳統(tǒng)皮帶油泵體積大、易損耗、噪音高、維護(hù)繁瑣痛點(diǎn)。抽速覆蓋 65~200L/min，型號(hào)齊全，適配實(shí)驗(yàn)室、小型光學(xué)鍍膜、半導(dǎo)體研發(fā)設(shè)備、分析儀器等精密真空?qǐng)鼍?，是日系小型真空設(shè)備高標(biāo)準(zhǔn)前級(jí)泵選型。