價格
￥2,999.00
型號
TGkine2200M-B
品牌
大阪真空
所在地
暫無
更新時間
2026-06-22 19:30:50
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五軸磁懸浮軸承轉(zhuǎn)子電磁懸浮無機械摩擦，無潤滑油揮發(fā)，真空腔體油污污染極低，滿足晶圓、光學(xué)鏡片高潔凈工藝；軸承無磨損，大幅延長連續(xù)量產(chǎn)使用壽命，維護周期更長。
機身集成驅(qū)動（B 款專屬）驅(qū)動電源、通訊控制電路一體內(nèi)置泵體，省去外置控制柜，節(jié)省設(shè)備機柜安裝空間，簡化現(xiàn)場布線，降低設(shè)備集成成本。
多級渦輪壓縮轉(zhuǎn)子多級渦輪葉片高效抽氣，極限真空可達 1×10?? Pa，大流量快速排空大型腔體，縮短設(shè)備待機抽真空節(jié)拍。
低振動低噪音運行無機械摩擦接觸，運行振動幅值極低，不會造成精密工件位移、薄膜鍍膜瑕疵，整機運行噪音≤53dB (A)。
表格
| 參數(shù)項目 | 規(guī)格數(shù)值 |
|---|---|
| 完整型號 | TGkine2200M-B |
| 氮氣抽速（60Hz） | 2200 L/s |
| 軸承結(jié)構(gòu) | 五軸主動式磁懸浮軸承 |
| 驅(qū)動結(jié)構(gòu) | 泵體一體式集成驅(qū)動 |
| 極限真空 | ＜1×10?? Pa |
| 額定轉(zhuǎn)速 | 58000 rpm |
| 進氣法蘭標準 | ISO160-F |
| 冷卻方式 | 標配風(fēng)冷，可選水冷 |
| 輸入供電 | 三相 AC200V |
| 整機凈重 | 45 kg |
半導(dǎo)體量產(chǎn)設(shè)備：PVD 薄膜沉積、刻蝕設(shè)備、300mm 晶圓檢測腔體高真空主抽泵；
光學(xué)鍍膜產(chǎn)線：車載鏡頭、光伏玻璃、大尺寸光學(xué)玻璃連續(xù)濺射鍍膜；
高端科研儀器：透射電鏡 TEM、掃描電鏡 SEM、表面能譜分析設(shè)備；
工業(yè)高端真空設(shè)備：精密真空熱處理、大型真空檢漏艙、高精度真空吸附設(shè)備
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京公網(wǎng)安備 11010802023672號
一、型號命名釋義
TGkine：大阪真空緊湊型磁懸浮分子泵系列
2200：60Hz 氮氣額定抽速 2200 L/s，中大型半導(dǎo)體腔體流量規(guī)格
M：Magnetic-bearing 五軸磁懸浮軸承，無機械接觸、完全無油潔凈真空
B：集成式一體驅(qū)動版本，驅(qū)動控制模塊內(nèi)置泵體，無需外置獨立控制柜
二、產(chǎn)品定位
一體緊湊型磁懸浮分子泵，平臺發(fā)布分類：一級「自動化及工控儀表」→二級「執(zhí)行器」，三級無對應(yīng)細分則留空，強制選擇時兜底選電動執(zhí)行器；主打半導(dǎo)體、光學(xué)鍍膜、高端科研高真空制程，全程無碳氫污染，適配量產(chǎn) 7×24h 連續(xù)運行。