TGkine:大阪真空緊湊型磁懸浮分子泵系列代號
3300:60Hz 氮氣額定抽速 3300 L/s,大流量工業(yè)量產(chǎn)規(guī)格,適配大型半導體真空腔體二,
M:Magnetic-bearing 五軸主動磁懸浮軸承,無機械接觸、全程無油潔凈真空
B:機身集成驅(qū)動一體款,驅(qū)動控制模塊內(nèi)置泵體,無需外置獨立控制柜
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一、型號命名釋義
TGkine:大阪真空緊湊型磁懸浮分子泵系列代號
3300:60Hz 氮氣額定抽速 3300 L/s,大流量工業(yè)量產(chǎn)規(guī)格,適配大型半導體真空腔體
二,
M:Magnetic-bearing 五軸主動磁懸浮軸承,無機械接觸、全程無油潔凈真空
B:機身集成驅(qū)動一體款,驅(qū)動控制模塊內(nèi)置泵體,無需外置獨立控制柜