二、四大核心實(shí)用優(yōu)勢(shì)

1. 磁懸浮無油結(jié)構(gòu)，杜絕工藝污染

轉(zhuǎn)子依靠電磁力懸浮運(yùn)轉(zhuǎn)，無潤(rùn)滑油、無油脂揮發(fā)，腔體碳?xì)湮廴沮吔诹悖m配晶圓、光學(xué)鏡片等高潔凈制程；軸承無物理磨損，20 萬小時(shí)長(zhǎng)壽命，減少產(chǎn)線停機(jī)維護(hù)，可耐受微量工藝腐蝕氣體。

2. 機(jī)身一體集成驅(qū)動(dòng)，省空間、易集成

摒棄分體式控制柜，驅(qū)動(dòng)模塊直接集成泵身，省去控制柜機(jī)架、長(zhǎng)連接線，設(shè)備布線工時(shí)降低 60%；整機(jī) IP54 防護(hù)，車間粉塵、輕微水汽環(huán)境穩(wěn)定運(yùn)行，適配緊湊型真空機(jī)組設(shè)計(jì)。

3. 1700L/s 穩(wěn)定抽速，平衡產(chǎn)能與成本

多級(jí)復(fù)合渦輪轉(zhuǎn)子優(yōu)化流體結(jié)構(gòu)，氮?dú)獬樗?1700L/s，氫氣抽氣性能優(yōu)異，搭配 ISO160-F 進(jìn)氣法蘭，中小型腔體可快速降至工藝高真空；轉(zhuǎn)子強(qiáng)化抗大氣沖擊，意外進(jìn)氣不易損壞葉片，支持頻繁啟停量產(chǎn)工況。

4. 工業(yè)智能通訊，適配自動(dòng)化產(chǎn)線

標(biāo)配 EtherCAT、RS232C、多路 DI/DO 工業(yè)接口，可對(duì)接半導(dǎo)體上位機(jī)；內(nèi)置轉(zhuǎn)速、溫度、振動(dòng)多維度傳感器，實(shí)時(shí)預(yù)警軸承、過載故障，降低非計(jì)劃停機(jī)；支持水平、垂直、倒立任意角度安裝，適配復(fù)雜設(shè)備管路布局。

三、核心技術(shù)參數(shù)

表格

四、適用行業(yè)場(chǎng)景

1. 半導(dǎo)體設(shè)備：中小型 PVD、刻蝕、晶圓檢測(cè)腔體主抽泵，適配 300mm 晶圓潔凈制程；

2. 光學(xué) / 光伏產(chǎn)線：車載鏡頭、光伏基板、小型玻璃連續(xù)濺射鍍膜；

3. 高端科研設(shè)備：SEM 掃描電鏡、空間熱真空模擬艙、表面分析儀器；

4. 工業(yè)真空裝備：小型真空熱處理、真空檢漏、高精度真空吸附設(shè)備。